MCS – Material Control System 자동반송 솔루션
https://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=625
MCS는 반송 장비를 제어하는 시스템. 공정의 무인 자동화의 핵심
반송 장비: Stocker(자동창고)와 OHT(Overhead Hoist Transport), OHS(Over Head Shuttle), AGV(Automated Guided Vehicle)
- 표준 I/F지원 : 국제반도체장비재료협회(SEMI) 표준에 맞춘 인터페이스 지원
- 자동 스케줄링, 사용자의 반송 룰 설정 : 자체 알고리즘에 따라 반송할 캐리어 설정
- 반송 현황도 모니터링 및 제어 :웹 기반 통합 관제 사용자 인터페이스를 통해.
