https://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=625 MCS는 반송 장비를 제어하는 시스템. 공정의 무인 자동화의 핵심 반송 장비: Stocker(자동창고)와 OHT(Overhead Hoist Transport), OHS(Over Head Shuttle), AGV(Automated Guided Vehicle) 표준 I/F지원 : 국제반도체장비재료협회(SEMI) 표준에 맞춘 인터페이스 지원 자동 스케줄링, 사용자의 반송 룰 Read more…